負極材料

負極材料，作為鋰電池重要組成部分，近年來備受關注。傳統的石墨負極憑借其優異的材料穩定性和低成本，廣泛應用于各個類型的電池模組內。但是由于石墨負極存在能量密度的理論克容上限（372mAh/g），各個材料研發單位和機構都在尋找一款高能量密度的新型負極材料，來代替傳統石墨負極。

近年來，硅碳負極被認為是具備可大規模量產潛力的新型負極材料。而硅碳負極的制備，也經歷了不同的工程化方向，最后被廣泛認可且具備放大量產的方式為CVD工藝。而利用該工藝生產新型硅碳負極的設備，則是CVD流化床。在該生產工藝中，需要在多孔碳前驅體中，利用硅烷（SiH4）沉積硅原子，再利用乙炔（C2H2）等碳源氣體，對中間體進行二次包覆，將其制備成新型硅碳負極材料。

由于該工藝特點，過程中的硅烷較容易與氧氣接觸發生反應，形成二氧化硅結晶附著在過程管路內壁。也是因為該工藝特點，對控制氣體的質量流量控制器有著巨大挑戰。傳統的熱式質量流量控制器（包括毛細管以及直通式），通過氣體熱特性的方式來計算質量流量，當溫度傳感器接觸面上附著二氧化硅結晶后，可能會致使傳感器導熱效率下降，流動氣體單位時間內傳導到傳感器的熱量下降，最后導致測量值小于實際流通值。當測量值小于實際流通值后，原先設定的氣體流量（理想測量值）將小于實際氣體通過量。所以在安裝有熱式流量控制器的流化床上，經常在使用一段時間后，出現尾氣中排放多余硅烷發生燃燒的現象。

而出現這種現象之后，熱式質量流量控制器無法進行快速維修，只能設法更換傳感器或報廢。若長期使用該原理質量流量控制器，則可能出現毛細管傳感器堵塞等現象，而引起更大的安全事故。

Alicat

Alicat 憑借其層流壓差原理及其優異的產品精度，一致性和重復性。廣泛受到新型硅碳負極行業內客戶的一致認可。Alicat質量流量控制器的層流壓差原理通過壓差傳感器（應變）獲得氣體在層流狀態下前后壓力差，再通過絕對壓力傳感器和溫度傳感器進行補償得到氣體當前的質量流量。在測量流量的同時，還能夠實時監控入口端或出口端的氣體壓力和溫度，讓用戶在使用流量控制器的過程中，多維度監控整個反應過程。

而傳感器表面二氧化硅結晶，對應變傳感器本身影響微乎其微。也是由于該特點，讓Alicat有著更高的控制穩定性和對二氧化硅結晶更高的耐受度。而Alicat的層流壓差傳感器的保養和維護也異常輕松，僅需將流量控制器拆開，清洗，校準，即可恢復出廠性能。整個保養過程僅需一天時間。

除此之外，針對不同客戶不同的環評要求，Alicat還可以提供覆蓋0區，1區和2區的防爆產品。以適應客戶生產要求。

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Alicat MCR+VCR閥門

l精度：±(0.8%讀數 + 0.2%滿量程)

                可選高精度±(0.4%讀數+0.2%滿量程)

l量程范圍：0.5SCCM-10,000SLPM

l控制范圍：1-100%滿量程

l重復性：±0.2%滿量程

l響應時間：<1ms

l控制響應時間(T63)：快至30ms

l預熱時間：<1s