Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質量流量控制器

l 氣動截止閥。 配備氣動驅動的正向截止閥，以確保無泄漏。

l 腐蝕性氣體相容性。 與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數制冷劑氣體兼容的接液材料。

l 用途廣泛且準確。 對于 128 種以上的氣體和 20 種自定義氣體混合物，實時控制具有 NIST 可溯源精度，讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

l 易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。

設備規格和定制選項

MCVS 系列性能（大多數產品）

l 可用滿量程范圍：0.5 SCCM 至 20 SLPM

l 穩態控制范圍：滿量程的 1% – 100%

l 標準精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ±0.8% 和滿量程的 ±0.2%

l 可選的高精度校準，NIST 可溯源：讀數的 ±0.4% 或滿量程的 ±0.2%

l 重復性：滿量程的±0.2%

l 典型控制響應時間：最快 30 ms

l 氣動閥泄漏完整性：最大 1 x 10-9 atm-cc/sec 氦氣

l 預熱時間：<1 s

MCVS 系列工作條件

l 兼容氣體：128 多種預加載的可選氣體校準

l 工作溫度：–10°C 至 +60°C

l 滿量程工作壓力：160 PSIA

l 最大壓差：75 PSID

l 耐壓：200 PSIA

l 用戶可選擇的參考條件（默認）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質量流量控制器

設備范圍和完整規格

設備的定制范圍從 0.5 SCCM 滿量程到 20 SLPM 滿量程，可控范圍為滿量程的 1% 到 100%。

設備特點

每個設備都包含

l 多變量過程測量：同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

l 用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。

l 氣體可選性：從我們氣體列表中的 130 多種預加載 NIST 可溯源氣體校準中選擇您的工藝氣體。

l Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件，定義多達 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

l 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。

l 用戶可調節的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據需要控制過程變量的快或慢，可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點更改。

l 用戶可調節的標準溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無需重新校準。

l 閥門關閉和打開：利用警報快速排放系統或根據需要停止所有流量。

購買時的要求 | 免費

l 可選的集成累加器和批次控制：每 1 毫秒匯總一次質量流量，以便隨著時間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來分配精確的體積。

購買時的要求 | 附加費用

l 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉動旋鈕即可調整設定值。