EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、輕量、節能的空冷干式真空泵。無需冷卻水，所需公用工程僅電源，可在單相100V-240V電源下使用。采用小型、輕量的便攜式設計，在有限空間內也能實現安裝。除此以外，還采用非接觸式密封結構，無需更換密封，使用壽命更長。除了各種分析用途以外，它也是便攜式漏泄檢測器以及需要反復搬動的研究和試驗用途的選擇。

特點

l  無油潔凈真空；無需補充或更換水、油等定期維護作業

l  可從大氣壓達到高度真空

l  小型、輕量、節能

l  風冷

l  無需更換密封，使用壽命長

l  低噪音

l  可滿足CE標示/SEMI-S2/NRTL要求

技術參數

EBARA荏原公司介紹：

2023年全年銷售額：345億元人民幣

全球員工：19600人

EBARA荏原的精密與電子事業公司是真空技術和平坦化技術的企業，為行業先進的技術制造現場提供支撐。EBARA荏原向全球供應半導體制造的CMP裝置以及干式真空泵、廢氣處理裝置、臭氧水生產裝置等各種產品。這些產品通過高性能、高可靠性和令人放心的技術支持體制，在眾多領域得到了使用。除了半導體領域以外，在化學、醫藥、其他制造業和研究開發用途方面，荏原制作所的產品同樣大放光彩。

應用行業