PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）

V72全加熱傳輸閥適用于蝕刻或化學(xué)氣相沉積等腐蝕性工藝，采用單軸氣動執(zhí)行器實現(xiàn)閘板的L型運動技術(shù)，加熱功能可使閘板或閥體上的化學(xué)物質(zhì)氣化。在L型運動中，閘板垂直移動至關(guān)閉位置——與閥體無任何接觸——在最后階段，閘板水平推向閘座，密封件以與連接氣壓相關(guān)的固定力接觸閘座。這不僅避免了任何摩擦以及由此可能產(chǎn)生的顆粒，還最大限度地減少了密封件的磨損。

為了最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘板配備了嵌入式O型圈密封，也可選擇硫化密封。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，不過也可選擇標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封。軸貫穿處采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

在停電情況下，V72可機械鎖定在關(guān)閉位置。

V72系列已經(jīng)在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)工藝中的數(shù)百個苛刻應(yīng)用中安裝使用，證明了其優(yōu)秀的可靠性。憑借堅固的設(shè)計以及維護(hù)量少且易于維護(hù)的特點，V72系列在各方面都令人信服。

V72全加熱傳輸閥總是根據(jù)客戶的具體要求進(jìn)行定制。盡管如此，仍預(yù)定義了四種基本設(shè)計類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型，以及兩種帶有內(nèi)部腔室閥座或外部腔室閥座的嵌件類型。

閥體材料可選擇鋁、硬質(zhì)陽極氧化處理鋁、鍍鎳鋁或不銹鋼。閘板和閥蓋密封件采用氟橡膠（FKM）或全氟橡膠（FFKM）材質(zhì)。其他密封材料可根據(jù)要求提供。

特點：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（符合半導(dǎo)體制程標(biāo)準(zhǔn)半E21- 94、半E24-92、半E21.1-1296）

l低振動。獲得認(rèn)證的L型運動連桿以及執(zhí)行器中無彈簧的雙位移設(shè)計，可使氣動執(zhí)行器的驅(qū)動速度更快、更平穩(wěn) ·

l在關(guān)閉位置可進(jìn)行機械鎖定

優(yōu)勢：

l焊接波紋管式執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定裝置，可防止在拆卸時螺栓掉落

應(yīng)用：

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）

技術(shù)參數(shù)