PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

V73雙層傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執行器實現閘門L形運動的技術。在L形運動中，閘門垂直移動到關閉位置，與閥體沒有任何接觸，在最后的運動中，它被水平推到閥座上，密封件以與連接的氣壓相關的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產生，還最大限度地減少了密封磨損。

為了盡量減少顆粒的產生和活化，閘門配備了插入式O型圈密封，硫化密封是一種選擇。這是一種比標準O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準O型環密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

在電源故障的情況下，V73可以機械鎖定在關閉位置。

V73系列已經安裝在各種半導體、太陽能和工業生產過程中的數百個要求苛刻的應用中，證明了其出色的可靠性。憑借堅固的設計以及減少和易于維護，V73系列在各個方面都令人信服。

V73雙層傳輸閥始終根據客戶規格量身定制。然而，預定義了四種基本設計類型：兩種具有不同后側開口的閥門類型和兩種具有內腔或外腔閥座的插入式閥門類型。

閥體材料選項包括鋁、硬質陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應要求提供。

特征：

l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l低振動。獲得認證的L形運動連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快的速度

l更平穩的氣動執行器

l機械鎖處于關閉位置

優點：

l焊接波紋管執行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

應用：

l半導體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板的制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統

PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）

技術參數